日前，第四届中国电子气体成长岑岭论坛在京召开。预会专家暗示，跟着手艺的前进，我国电子特气国产化获得显著进展，产物种类、产量逐年增添，进一步知足了市场需求。同时，晶圆、显示面板、光伏等财产的快速成长，将为电子特气财产成长注入强劲动力。但电子特气行业的产物同质化问题不容轻忽，要走差别化、高端化线路，配合增进行业延续高质量成长。

国产化获得诸多进展

据中国电子气体百人会会长、中船(邯郸)派瑞特气股分有限公司副董事长李绍波介绍，最近几年来的延续发力使我国在电子特气国产化方面获得了诸多进展。

有关数据显示，当前全球市场(集成电路)范围排名前十的电子特种气体，我国已完成多种产物财产化结构，此中在8吋制程上我国电子特气根基国产化(不含先驱体)。

电子特气是半导体财产的支持材料。最近几年来，跟着手艺的不竭前进，我国电子特气的种类和产量增添较着，进一步知足了市场需求。 李绍波暗示，在晶圆制造工艺中，所需电子气体(含先驱体)共130余种，今朝我国当地化供给市场的种类约为40%；显示面板制造进程中所用到的各类电子气体近30种，根基实现当地化供给；在光伏财产链中，电子特气首要用在多晶硅、长晶和电池工艺环节，有18种之多，全数实现了国产化。

按照行业统计，2023年前三季度，我国首要电子特气企业发卖收入约36亿元，利润约6.3亿元。2019年至2022年，我国电子特气行业复合增加率保持在30%以上，固然2023年受年夜情况影响需求有所降落，但相干机构猜测我国境内电子特气市场范围仍达198亿元。 李绍波说。

市场需求一日千里

在半导体材猜中，电子气体是仅次在年夜硅片的市场需求第二年夜品种。电子特气在晶圆制造进程中占材料本钱的14%摆布，几近渗入到集成电路出产的每一个环节，对集成电路的机能、集成度和制品率都有很年夜影响。

从全球晶圆厂产能扩大环境看，按照IC Insights猜测，2025年全球12寸晶圆厂估计从2020年的131座增添到170座，增加30%；12寸晶圆制造产能从650万片增添到920万片，增加42%，将带动电子特气财产成长。 李绍波阐发说。

从首要下流光伏财产看，碳达峰、碳中和的成长方针给光伏财产注入了强心剂，刺激新增装机需求高速增加。别的，我国在多晶硅、电池片、组件等范围上遥遥领先，延续的财产研发和手艺立异，也将为电子特气财产成长注入更多活力。

北方集成电路手艺立异中间(北京)有限公司总司理康劲博士暗示，最近几年来，我国半导体材料财产范围不竭强大，自给能力逐步加强，出现出三氟化氮(NF₃)、钼和铝合金靶等浩繁具有国际竞争力的产物，国际市场据有率慢慢提高。

据介绍，NF₃在半导体加工、太阳能电池制造和显示面板制造中获得普遍利用，是微电子工业中良好的等离子蚀刻、清洗气体。 跟着集成电路、显示面板、光伏企业产能扩充，NF₃需求量将一日千里。 中船(邯郸)派瑞特种气体股分有限公司副总司理王占卫说。

高端化差别化是标的目的

虽然我国电子特气财产化获得必然进展，市场需求也在稳步晋升，但仍面对着产物同质化严重、低端产物多余、高端产物缺少的窘境。

整体来看，今朝NF3在全球市场处在供过在求的状况。 王占卫暗示，估计全球NF₃市场整体需求量在3.6万吨/年摆布，而供给能力则为4.8万吨/年。

王占卫强调，虽然今朝国内NF₃产物同质化已较为严重，但多家厂商仍有扩江南体育充产能的打算。据悉，今朝，我国NF₃产能达1.25万吨/年，且还0.6万至1万吨产能正在计划中，这晦气在行业良性成长。短时间看，下降同质化，走差别化、高端化线路是NF₃出产企业成长的路径。

在更高制程上，如先驱体、负压钢瓶等，我国电子特气的供给保障能力有待晋升。 李绍波强调，电子特气的成长要以行业为牵引，以产物为中间，推动设计、设备、材料和制造等各环节融会成长；同时依托国内年夜轮回，指导增进国际年夜轮回，以双轮回模式重塑财产链高质量成长。